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| 半导体行业专用制氮机 |
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半导体级多晶硅行业对于生产工艺有着极为严格的要求，长期以来由于PSA空分设备的技术局限性，生产的氮气不能完全满足其需要，因此在工业上一直使用昂贵的液氮作为保护氛围。对此，Weiton经过近两年的研发与摸索，在通用制氮装置的基础上，根据半导体行业对氮气的特殊要求，成功研制出了专用的制氮系统。此制氮系统所生产的氮气纯度高、露点低，无有害杂质，完全可以满足半导体行业对氮气的高求，且装置操作方便，维护简单，消耗品少，是用户毋庸质疑的最佳选择。 Weiton研发的全球首例半导体级多晶硅（６寸以上晶圆）专用制氮系统在香港顺利投产，至今已不间断、满负荷、无故障运行近两年，对整个PSA制氮行业具有突破性的历史意义。 目前，Weiton是唯一在半导体级多晶硅行业中拥有完善技术和应用实例的PSA制氮厂家。 广州市维通工业气体技术有限公司 地址：广州市番禺区南村镇坑头工业区西线路15号 电话：020-84568851 020-84569638 传真：020-84568850 邮编：511442 邮箱：weiton@weiton.com 网址：http://www.weiton.com/ 博客/Blog：http://hi.baidu.com/维通 |
