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| 激光干涉仪 |
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产品型号：ZLM700 ZLM800 产品产地：德国 制 造 商：德国JENAer公司（耶拿尔公司） 详细介绍: 在德国，Jena地区以生产蔡司光学产品而举世闻名。位于该地区的Jenaer（耶拿尔）公司生产的ZLM700/800双频激光干涉仪在世界范围内的同类产品中，由于具有独特的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。 ZLM系列双频激光干涉仪采用模块化设计和可调型ASIC元件，用户可以根据测量目的的不同，选择不同的反射镜和辅助元件，以完成各种测量和控制任务。 ZLM700双频激光干涉仪主要用于单轴系统的校准和测量，ZLM800干涉仪可从单轴拓展为多轴，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。它能够完全计算出机械设备的运行轨迹，并通过WINDOWS™；软件按用户设定的方法对其进行分析。 配用高性能蔡司光学镜头组件，ZLM70/800双频激光干涉仪可以完成以下各种测量工作： 位置测量、机械定位 距离测量 速度测量 加速度测量 角度测量（俯仰角、偏摆角、滚动角） 振动度测量（同心度测量） 直线度测量 矩形测量（垂直度测量、平行度测量） 平面度测量 对工具和仪器进行校正 工作原理 专利型ZLM700/800激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为0.002ppm，640MHz的频差经四倍后用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。 采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700/800双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。 除了计算机卡槽接口外，还可以使用其他独立的电子装置进行数据处理，包括各种接口，用于数据输出和连接成为一个控制环路。ZLM800型干涉仪可以拓展为六轴测量。 主要特点 被测物体最大速度16m/s； 无干扰误差时的分辨率2.5nm（使用平面干涉镜时的误差为1.25nm）； 无加速度限制； 当光线微弱时，性能也十分稳定； 信号延时200ns； 激光器寿命内，频率信号稳定； 对电磁干扰不敏感； 使用超级蔡司光学元件。 产品的可靠性 世界范围内，ISO9000/9004已经被广泛应用于各种质量保证体系。这就要求认证的企业必须按照相关要求对生产工艺和控制过程进行严格的管理。Jenaer公司就是采用这样质量管理体系的公司。 测量结果的可靠与否取决于测量的工具、测量方法和操作者。测量系统的校正误差会极大影响测量的结果的准确性。 本公司的双频激光干涉仪可以通过软件来减小测量系统的校正误差。把两个四象限传感器置于激光器内，一个用于测量光束，另一个用作参考光束，从而保证了以最优的方式来校正干涉系统与被测物体。由于使用大屏幕显示，系统校正会非常灵敏，从而方便校正。 使用软件校正的优点 通过屏幕显示来校正系统的精度，能够节约设定时间； 激光器的校正是一个精细的过程，即使对最复杂的测量任务也能胜任； 能过保证校正结果的最高性能。 测量方法智能化 ZLM700/800的信号处理电路采用可调的ASIC元件。ZLM系列双频激光干涉仪针对不同的测量目的，采用不同的控制信号，以完成各种测量工作。 ZLM700/800双频激光干涉仪可以连接外部计数系统，它使得被测设备和激光干涉仪之间的比较变得更为方便，节约过程时间。这一过程使用实时耦合信号，使得数据分析能够满足德国和世界标准。 数据分析处理的国际标准 VDI / DGQ 3441 DIN / ISO 230 VDI / VDE 2617 NMTBA 使用环境补偿使精度更高 即使是标准配置，ZLM700/800双频激光干涉仪的分辨率也能够达到5nm，测量精度优于1 Â；µ；m/m。这就需要使用AUK500自动环境补偿器（俗语：气象站）来提供环境温度的一些参数，通过参数补偿，使其环境指标达到实验室测量的标准。 ZLM700/800双频激光干涉仪使得测长机和比较器的校正变得更为简单。 空气环境对测量结果的影响可以通过使用AUK500环境自动补偿器来修正，也可以手工输入来修正。最多可连接五个材料温度传感器对所测物体的温度进行补偿。 通过软件使操作更为简单 ZLM700/800双频激光干涉仪使用WINDOWS™；数据分析软件，长度测量结果极为准确，对测量数据的分析也特别方便。用户只需要登录测量的数据库，就可以轻松查询各种数据表和图示。无论是检测位置、角度或者是直线度，由卡尔蔡司设计的专用软件都可轻松集成于各种微软WINDOWS™；操作系统中。测量、分析、记录收集、数据归档都可轻松的完成，大大节约了工作时间。 对测量结果的处理是一项重要的工作，通过集成式记录编辑器，对图表、数据表和用户添加的内容都可轻松的编辑和打印。所有记录的内容都可导出为Word文档。 在准备和测量阶段，最重要的信息屏幕上会凸出显示。仅需要通过鼠标或几个按键，就可快速现实各种功能。 要对测量的数据进行计算和分析，通过简单操作就可生成各种图解和表格。即使是微小的细节也能够显示出来。 所测数据可以在存档卡中进行存档。通过存档卡标签，用户可以轻松的对某些测量结果从大量的文档中进行查找。 产品的性能优势 测量 记录打印 工艺标定 工艺优化 校准、定位、调整 机器误差补偿 铅锭误差补偿 螺距误差补偿 控制 运动分析 动态行为 误差补偿 技术参数 使用标准数据处理器AE700 使用高性能数据出来器AE950 He-Ne激光平均波长： 632.8 nm 632.8 nm 激光稳频精度： 一小时2x10-9（±0.002ppm） 寿命内2x10-8（±0.02ppm） 一小时2x10-9（±0.002ppm） 寿命内2x10-8（±0.02ppm） 系统精度（0-40℃时）： ±0.4ppm ±0.4ppm 光束直径： 6mm (可选3.2mm) 6mm (可选3.2mm) 激光管突发最大输出功率： 1mW (激光等级2) 1mW (激光等级2) 每束光可测量的轴数： 1，可选最多6个 1，可选最多6个 线性测量距离： 40m，可扩展为120m 40m，可扩展为120m 角度测量范围： ± 15°，20m行程 ± 15°，20m行程 平面度测量范围： 20m行程 20m行程 直线度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程， 选用角度干涉仪可测30m行程 ± 5mm，2m或10m行程， 选用角度干涉仪可测30m行程 垂直度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉仪 ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉仪 最大速度： 4m/s，可选16m/s 320rad/s 角速度 1m/s，平移量 80rad/s，角速度 最大加速： 无限制 无限制 最高采样频率： 内部1MHz，外部40MHz 内部1MHz，外部40MHz 预热时间： 12分钟 12分钟 精度/非线性： ±1.25nm (角隅反射镜) ±0.62nm (平面反射镜) ±0.3nm (角隅反射镜) ±0.1nm (平面反射镜) 距离测量分辨率： 2.5nm (角隅反射镜) 1.25nm (平面反射镜) 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 距离测量精度： (20°± 0.5°) 使用AUK时 (20°± 0.5°) 真空中时 ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 线性度测量分辨率： 2.5nm (角隅反射镜) 1.25nm (平面反射镜) 0.62nm 可选 0.6nm (角隅反射镜) 0.3nm (平面反射镜) 0.1nm 可选 线性度测量精度： (20°± 0.5°) 使用AUK时 (20°± 0.5°) 真空中时 ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m 速度测量精度： ±0.5ppm实测值 ±0.5ppm实测值 角度测量分辨率： 0.062μrad (12x10-3 弧秒) 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 角度测量精度： ±0.1ppm实测值 ±0.1ppm实测值 平面度测量分辨率： 0.062μrad (12x10-3 弧秒) 0.015μrad (3x10-3 弧秒) 平面度测量精度： ±0.2%实测值 ±0.05弧度/米运行距离 ±0.2%实测值 ±0.05 弧度/米运行距离 直线度测量分辨率： 145nm，10m行程 29nm，2m行程 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 直线度测量精度： ±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程 ±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程 垂直度测量分辨率： 145nm，10m行程 29nm，2m行程 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 垂直度测量精度： ±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒* ±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒* 数据接口： 积分信号 32 Bit (实时时间) Dt »；20 ns 积分信号 32 Bit (实时时间) Dt »；20 ns 数据分析标准： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 工作环境： 温度：15°C-30°C 湿度： 90%无冷凝 温度：15°C-30°C 湿度：90%无冷凝 储存环境： 温度：10°C-40°C 湿度：95%无冷凝 温度：10°C-40°C 湿度：95%无冷凝 |
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